根据卫星激光通信系统的“中国科学学院”的官方解释，光束控制的精确度决定了交流的质量。当卫星激光通信系统被视为“数字生活”以在太空中传播时，控制激光器的高速反射器（以下称为高速反射器）是“精确的头脑”，可维持其操作。这种“基于硅的心”正好调节激光束。这样可以防止萨南卫生间通信的“生命迹象”被中断。最近，上海系统信息技术研究所，中国科学院，成功地开发了一个高性能的MEMS，这是带有集成角度传感器的快速镜子。镜子的大小更大，包装的大小较小。集成高 - 索的角度传感性，它具有良好的线性，角度分辨率，响应速度，精度重复定位和镜子的动态变形。您可以执行更精确的闭合激光束控制控制，并且它具有激光卫星通信的巨大潜力。如图所示，MEMS封装的镜像只是货币尺寸。 ▲MEMS包装镜像IT室需要一组极端性能指标，其中包括高方向精度，高工作带宽和高光学质量，以满足激光链路的需求，以实现高精度光束控制。研究团队面临两个主要的技术瓶颈。传统的高速机械镜是原始的快速镜，具有大尺寸，高功耗，磁滞和小镜，在带宽和集成角度传感器下。为此，研究人员汉（Han）创造了航空航天水平的快速镜，在过去五年中高度精确且高度发射。研究人员使用了Bilapa的异质整合技术。这就像安装“ com”posite bone" on the device to achieve higher filling factors and resonance frequencies for MEMS Fast Mirror. At the same time, wafer -level binding technology is used to achieve high -speed mirrors and high uniform preparation. The device has a high linearity, resolution of ultra high angle, response quickly and high precision of repeatability positioning. This MEMS Fast Mirror is μrad (Microradi) It is worth mentioning that it has an orientation accuracy in the direction （AN）可以将0.3μRAD的角度变化与快速镜像中的MEMS快速镜面效果。 5.4MV/（V ・MRAD），显着优化了梁控制的精度。N突然赢得了超人的试镜，发现以前忽略了细节，并清楚地听取了远处微妙的声音。 ▲抗性角度传感器的结构设计绘制空间，以确保激光通信信号具有“破坏性”，研究小组进行了理论计算，有限元和实验测试的模拟，并首次进行了“完全尺寸的体格检查”，以进行大型直观镜的动态变形。结果表明，在静态单元（500Hz@±2Mrad）中，即以500Hz（Hz）的频率，ME的快速反射镜的角度精度可以达到±2Mrad（Miliriradia），并且仅具有2个纳米剂的动态表面的最大变形。这相当于足球场的镜面，所有起伏只是头发的直径，符合镜子表面类型中长距离卫星激光通信的严格要求。 ▲动态镜子变形特性：新的MEMS快速镜具有很大的优势，为航空航天领域的重要应用提供了一个视角。将来，研究团队将继续优化对镜像，闭路控制和设备可靠性的研究。